首页 期刊 压电与声光 声表面波器件制作中的干法刻蚀工艺 【正文】

声表面波器件制作中的干法刻蚀工艺

作者:王祥邦; 李勇; 陈培棣 南京电子器件研究所; 通讯产品部; 江苏; 南京; 210016
反应离子刻蚀   压电材料   叉指换能器  

摘要:声表面波器件广泛应用于有线和无线通讯中.利用半导体加工工艺制作声表面波器件,由于所使用的工艺的特殊性,并不能完全按照硅工艺.该文讲述了用于法刻蚀工艺制作声表面波器件及其工艺特殊性.

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