摘要:声表面波器件广泛应用于有线和无线通讯中.利用半导体加工工艺制作声表面波器件,由于所使用的工艺的特殊性,并不能完全按照硅工艺.该文讲述了用于法刻蚀工艺制作声表面波器件及其工艺特殊性.
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