摘要：电容式加速度传感器的弹性元件在不同温度条件下存在不同形变,导致传感器的零输入响应产生变化,影响了系统的线性特性。为此,采用ANSYS对加速度计的机械敏感模块进行了温度场的有限元分析,对极板位移与温度进行数学建模,进而提出了一种针对实时温度的非线性补偿控制方式。仿真验证结果表明:该方法能够有效降低温度对系统造成的影响,对于零漂的输出误差降低49.93%,并保证了系统在不同频段工作输出的稳定性,这也为电容式加速度传感器的性能改进提供了一种思路。

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