摘要：借助Materials Studio中的CASTEP模块,建立了H_2与SnO_2薄膜（110）面的吸附模型。应用基于密度泛函理论（DFT）的第一性原理,确定了H_2在SnO_2（110）面的最佳吸附位置;在此基础上,通过分析H_2在SnO_2（110）面吸附前后态密度（DOS）及表面差分电荷密度的变化,说明了电阻型薄膜型微氢气传感器的微观气敏机理,即当H_2吸附于SnO_2薄膜表面时,薄膜表面电阻减小,其主要原因是H原子的s轨道的部分电子转移到薄膜表面。最后通过灵敏度测试实验,从宏观上对理论分析结果进行了验证。

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