首页 期刊 仪表技术与传感器 压电式微固体模态谐振器电荷放大器负载效应的研究 【正文】

压电式微固体模态谐振器电荷放大器负载效应的研究

作者:赵聪; 吴校生; 李国斌; 陈文元; 刘武; 崔峰; 张卫平 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米纳米加工技术部级重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室
压电谐振器   电荷放大器   电学负载   谐振频率   串联电阻  

摘要:文中采用串联电阻的方法,解决了传统的阻抗分析仪很难满足共振激励需求的问题,研究一种具有特殊电压激励方式的压电式微固体模态谐振器等效电路。通过绘制压电谐振器的导纳圆图,分析并获得压电谐振器在共振频率附近的等效电路参数。通过比较有无电荷放大器作为负载接入压电谐振器的实验结果,发现带有电荷放大器的压电谐振器等效电路的谐振频率从346.119 k Hz降低至344.979 k Hz。得出结论:如果电荷放大器作用于压电谐振器负载端,应该关注它对谐振频率的影响。

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