摘要：SiC具有硬度高、脆性大的特点,很难采用传统的机械加工方法对其进行加工,只能采用非常规的磨削加工,但其加工效率极低、成本高。针对上述问题,研究了一种有效的SiC加工方式。通过设计电火花正交试验,研究SiC电火花成型加工中不同电参数（伺服参考电压、峰值电流、脉宽时间和脉间时间）对SiC电火花加工效率的影响,探究出最佳电参数组合,并在此基础上利用阵列电极加工,使加工效率得到大大提高,这对将来加工具有多腔形状的SiC产品具有指导意义。

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