摘要:8数字微纳加工设备【技术领域】高端装备【技术开发单位】中国科学院光电技术研究所【技术概述】数字微纳加工设备是通过数字化控制空间光调制器实现像素级光场自由操控,利用高数值孔径投影物镜生成高分辨力图形,结合高速扫描工件台同步运动,实现大面积、高分辨力,任意微纳图形结构加工。设备包括高均匀性照明系统、空间光调制器、高数值孔径物镜、检焦系统、精密扫描工件台以及高速扫描工件台同步运动.
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