摘要：叙述了真空阴极弧离子镀技术的原理，种类，宏观颗粒的产生以及磁过滤器的应用。重点分析了系统效率，等离子体传输影响因素和真空阴极电弧离子镀技术在薄膜研究和制造中的应用。
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