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TFT—LCD取向层工艺及其关键参数

作者:车春城; 王丹; 李军建 中国电子科技大学; 四川成都610054; 北京京东方光电科技有限公司; 北京100176
取向层   聚酰亚胺膜   涂布   摩擦   膜厚  

摘要:综述了国内最先进的第5代TFT-LCD生产线的取向膜工艺。并探讨了各取向膜工艺参数对取向膜厚度和预倾角大小的影响,从而根据产品设计需要改变工艺参数指导实际生产。

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