首页 期刊 现代科学仪器 浅谈KevexSIGMA^TMX射线能谱仪中的能谱分析技术 【正文】

浅谈KevexSIGMA^TMX射线能谱仪中的能谱分析技术

作者:孔明光 中国科学院固体物理研究所,合肥230031
x射线   能谱   扫描电镜   定性定量分析  

摘要:随着科学技术的发展,能谱分析技术在科研中的作用越来越重要.本文以Kevex SIGMATM X射线能谱仪为例,论述了能谱的形成和原理,以及定性和定量分析技术,并对能谱技术的发展进行了展望.

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