摘要：日本罗姆（口一ム）公司将京都大学和东京电子（东京工しクト口ソ）公司共同开发的外延膜（晶体膜）生长装置的量产型试制装置用于硅碳化物（SiC）的研究开发用样品制作中。能够生长品质稳定的膜，因而，以往公司外供给困难的大芯片面积的电源器件的试制成为可能。
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