摘要:三星宣布完成5纳米EUV开发意图与台积电争世界霸主据报道,4月17日,三星通过官网新闻中心宣布实现基于EUV光刻的5纳米FinFET工艺,并已准备好投入生产。据悉,三星电子还计划于近期推出7nm产品,并在今年批量生产6nm产品。与7nm相比,三星的5纳米FinFET工艺使特定面积的晶体管数量增加了25%,性能提升10%,功耗降低20%。此外,它是三星重复利用7nm相关知识产权的成果,因此大幅减少了时间成本和落地成本。
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
热门期刊服务
纳米科技 纳米技术与精密工程 Journal of Energy Chemistry Journal of Hydrodynamics Science China Chemistry Chinese Journal of Chemistry Chinese Journal of Chemical Engineering Journal of Semiconductors Journal of Genetics and Genomics Chinese Journal of Chemical Physics Chinese Journal of Structural Chemistry China Petroleum Processing Petrochemical Technology