首页 期刊 西安工业大学学报 微位移的直射式激光三角法精密测量 【正文】

微位移的直射式激光三角法精密测量

作者:范源; 吴慎将; 郝冬杰 西安工业大学光电工程学院; 西安710021
激光   三角法   位移传感器   非线性特性  

摘要:为适应生产中的非接触实时测量要求,基于直射式激光三角法测量原理和光路结构,提出了微位移直射式激光三角精确测量方法.使用位移传感器(Position Sensors Detector,PSD)来采集光点位置信息,通过电流/电压转换电路、放大电路、滤波电路和A/D模数转换电路,实现了模拟信号到数字信号的转化和测距系统误差的校正.结果表明:测量距离为10~100 mm时,全量程范围内测量误差小于3%;测量误差来源于系统中电子元器件的非线性特性、安装调试干扰、测量标定误差以及环境温度干扰.

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