摘要：制作了一种BiFeO3纳米纤维压力传感器和测试装置,用测试装置对压力传感器进行测试,并对测试数据进行分析。采用BiFeO3纳米纤维作为敏感材料,利用微电子机械系统（MEMS）加工工艺制备出带有叉指电极的硅基底,用静电纺丝设备将BiFeO3纳米纤维铺设到叉指电极上面,再将PDMS薄膜覆盖在纳米纤维上制成压力传感器。在磁感应强度0和80 mT下,用自制的测试装置分别采集25℃和80℃下0-20 kPa的输出电压。得知输入压力与输出电压基本呈线性关系,温度和磁场的变化对传感器的影响不大,BiFeO3纳米纤维压力传感器的最大输出电压达到了0.91 mV。

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