摘要：设计并制备了一种基于负电晕放电原理及微机电系统（MEMS）技术的多针-板型气体传感器。研究了电极间距对传感器放电特性的影响,综合考虑起晕电压、信号输出范围及稳定放电范围,优化电极间距为120μm。测试了传感器在体积分数均为6×10~（-4）的乙酸、异丙醇、乙醇和丙酮四种有机气体中的放电特性,传感器对乙酸气体响应最灵敏。测试了传感器在-0.91 kV放电电压下对乙酸气体的敏感特性。结果表明,该传感器对不同体积分数的乙酸气体的响应具有较好的线性关系,对体积分数为10~（-6）的乙酸气体的响应约为0.61 mV,理论检测限（三倍噪声）约为1.2×10~（-5）。传感器对乙酸气体响应灵敏度高、重复性好。

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