摘要：Veeco Instruments公司已为其新款Wyko NT9000光轮廓仪推出了In—MotionTM测量包。该测量包扩展了Veeeo显微镜对微器件，如微电子机械系统（MEMS）的3D测量能力，同时也增强了对样品表面特性（表面特性会随时间而变化）的表征能力。In—Motion系统可以测量所有静态的3D参数，如关键尺寸、缺陷、形状和粗糙度；

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