摘要：利用热壁化学汽相沉积在Si基上生长GaN薄膜.用扫描电镜(SEM)、选择区电子衍射(SAED)、X射线衍射(XRD)、傅里叶红外透射谱(FTIR)和荧光光谱(PL)对样品进行形貌、结构、组分和发光特性的分析.SEM显示在平滑的表面上出现了由绳状、树根状、项链状晶体组成的奇异面.FTIR、XRD和SAED显示生成的GaN奇异面呈六方纤锌矿多晶结构同时含有少量的碳污染.PL谱显示了不同于一般GaN发光谱的发光峰.

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