首页 期刊 物理学报 Ga液滴沉积速率对GaAs/GaAs(001)量子双环形貌的影响 【正文】

Ga液滴沉积速率对GaAs/GaAs(001)量子双环形貌的影响

作者:李志宏; 丁召; 汤佳伟; 王一; 罗子江; 马明明; 黄延彬; 张振东; 郭祥 贵州大学大数据与信息工程学院; 贵阳550025; 贵州财经大学信息学院; 贵阳550025; 半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心; 贵阳550025; 贵州省微纳电子与软件技术重点实验室; 贵阳550025
同心量子双环   团簇扩散动力学   原子力显微镜  

摘要:采用液滴外延法在GaAs(001)衬底上制备同心量子双环(concentric quantum double rings,CQDRs),利用原子力显微镜表征其表面形貌,并研究Ga液滴沉积速率对CQDRs的影响.研究结果发现,随着Ga液滴沉积速率的增加,CQDRs的密度增加,内外环半径均降低.根据成核理论中最大团簇密度和Ga液滴沉积速率之间的关系拟合出临界成核原子数目为5,表明在Ga液滴形成阶段时稳定的Ga原子晶核至少包含5个Ga原子;根据成核理论和拟合结果绘制成核过程状态转化图以深入理解Ga液滴形成过程.相关研究结果对液滴外延法制备密度可控的GaAs同心量子双环具有一定的指导意义.

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