摘要：利用自制高能等离子体辅助化学气相沉积设备在1Cr18Ni9Ti衬底上，在离子能量2keV、工作压力2Pa、工作气氛为CH4／H2=10％的工艺条件下得到了一种硬度高、导电性能良好、可能具有碳链结构的新型碳膜．工艺研究结果表明，衬底材料对制备该新型纳米碳膜具有关键作用，离子能量、工作压力及气氛等工艺因素也具有重要作用．原子力显微镜分析结果表明，该薄膜晶粒尺寸小于100nm，薄膜光滑、致密、均匀．拉曼光谱分析显示，该薄膜的拉曼光谱特征为中心峰在1580cm^-1附近、显著宽化的单一峰．欧姆计测量表明该薄膜的薄膜电阻为1．6×10^4Ω／cm^2．利用纳米力学探针测得该纳米碳膜的显微硬度为21．38GPa。体弹性模量为420．65GPa．

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社