摘要：哪种材料可以取代硅，成为下一代支持微电子产业发展的材料？随着加工技术的进步，硅材料在微电子产业领域还能走很长一段时间，硅材料的加工工艺已经相当成熟，不是说取代就能取代的。研究新型材料，
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