摘要：微纳加工领域是从事物理学研究与应用开发人员，特别是从事纳米材料与器件研究的物理工作者十分关注和重视的领域。这是由于人们在对纳米材料性能的研究中发现，性能与材料的微观结构尺寸的变化关系密切。

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