首页 期刊 物理 MgB2超导薄膜制备方法对比研究 【正文】

MgB2超导薄膜制备方法对比研究

作者:高建龙; 周建中; 张莉 兰州理工大学理学院; 兰州730050
二硼化镁   超导   薄膜   制备技术  

摘要:文章结合MgB2超导薄膜在电子器件中的应用,简介了混合物理化学气相沉积法、脉冲激光沉积法、磁控溅射法、分子束外延法和电子束蒸发法等MgB2超导薄膜制备方法和研究进展,并对主要的MgB2超导薄膜制备方法进行了比较,提出了改进意见.对MgB2超导薄膜的应用前景作了展望.

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