摘要：0引言 铁电薄膜在现代高新技术中起着越来越重要的作用而成为国内外研究的热点,通常高介电常数、高剩余极化和低介电损耗是铁电薄膜在铁电存储器等许多领域应用的基础,所以人们不断努力去研制高性能的铁电薄膜.

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