首页 期刊 微电机 声表面波直线电机研究进展 【正文】

声表面波直线电机研究进展

作者:熊瑛; 邬玉亭; 褚家如 中国科学技术大学; 安徽; 合肥; 230026
声表面波直线电机   超声电机   纳米技术   微执行器  

摘要:介绍了一种新型的超声电机--声表面波直线电机.这是一种具有极高的分辨率(几个纳米),长工作行程(几十厘米)的微驱动器.文中从工作原理、实验装置以及存在的问题等方面介绍这种电机的研究发展.

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