摘要：采用电场控制贵金属颗粒在单晶硅（111）上成功制备出〈111〉的硅微纳米结构。构建电场驱动下的硅微纳米结构制备模型,研究电场强度对腐蚀速率和两相电场对腐蚀方向的作用规律。验证电场控制腐蚀方向的可行性,得出优化的电场电流密度,为控制腐蚀方向,制备可控的硅微纳米结构提供新的方法和实验手段。

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