摘要：以四甲基硅烷为前体的超疏水涂层的制备 采用四甲基硅烷（TMS）为前体，经一步法大气射频辉光放电等离子体沉积法制备了具有超疏水性能的无氟型有机-无机杂化涂层。等离子体由空气中的氦产生，TMS前体的浓度为氦载气体积的0.01%～0.04%。TMS在大气等离子中离解的同时，产生了经气相缩合反应而生成的微粒，由此得到一种有机无机杂化涂层，其根均方粗糙度为30～80 nm，且能在未经预处理的多种底材（如平板、纸张、棉布）上使涂层的水接触角达到150～165＆#176;。由于大气分子（氧、氮、水）在大气等离子体中的激发和离解，形成的涂膜中含有氧和氦，以及硅和烃。涂膜中氧以Si-O-Si的形式存在，类似于硅化合物。与采用相同大气等离子沉积法制得的纯烃类涂膜相比，由TMS制得的涂膜具有更高的耐候性。

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