摘要：采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO/Si基片上制备了掺钕(Nd)的Bi4Ti3O12薄膜(Bi4-xNdx)Ti3O12(x=0.85),将薄膜于空气中710℃退火0.5 h,形成BNT多晶薄膜.系统研究了薄膜的结构、电学性质、表面形貌、漏电流、疲劳特性等.结果表明薄膜呈(117)和(00l)的混合取向,显示良好的铁电性(2 Pr=60.8μC/cm2),并呈现良好的抗疲劳特性.

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