摘要：采用磁控溅射镀膜方法，在锂铁氧体材料表面，制备了Cu—Ti复合金属波导膜系。本文简单介绍了设备的改造特点，对整个工艺过程进行了分析研究，对制备的Cu—Ti复合金属波导膜系进行了性能测试，结果表明，用该工艺所制备的波导膜系性能指标达到微波器件的要求。

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