摘要：设计并搭建了一套微小通道沿程压力的测量系统, 包括PMMA通道和压力方腔、 微应变传感器及多通道应变仪等.利用注射泵的推进方法提供微通道静压, 采用F CO510型高精度微差压计的测量值作为标准压力,通过多通道应变仪测量微通道方腔中各个应变片的应变值, 从而建立标准压力和应变之间的标定函数.分别对3种微压芯片在8 0、 7 0、 6 0及5 0mL /m i n等4种不同流量下的压力分布进行了测量, 压力分布具有良好的线性规律.不确定度分析表明压力误差的相对扩展不确定度范围为0. 1 5%~6. 8 2%, 测量结果的有效性和可靠性较高.

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