摘要:Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平,提供4m/s最大的测量速度和50kHz记录速率。系统预热时间缩短至大约仅6分钟,即使在最高的数据记录速率下,准确性可达到±0.5ppm(线性模式)和1纳米的分辨率,它比原有的ML10在重量和体积上减小了许多,气压、温度、湿度等环境参数影响的修正器也大大缩小了,所以,系统总重不到15公斤。
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
热门期刊服务
影响因子:0.06
期刊级别:部级期刊
发行周期:双月刊
期刊在线咨询,1-3天快速下单!
查看更多>
超1000杂志,价格优惠,正版保障!
一站式期刊推荐服务,客服一对一跟踪服务!