摘要：研究了目前国际上通用的图像拼接技术，针对白光干涉方法测量台阶高度样块图像视场区域小的问题，提出了一种使用台阶边缘作为匹配点、基于三维点集的台阶样块图像拼接方案，实现了台阶样块图像三维自动拼接，满足了按照国际通用的单线评价法对台阶高度进行评定的要求。使用美国VLSI公司的有证台阶高度标准样块对软件拼接准确度进行了验证。验证结果表明，最大差值为1.3nm，偏差在VLSI给出的测量不确定度范围之内，显示出该图像拼接技术的有效性和高准确度。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社