摘要：纳米计量不仅提供测量和表征纳米材料及器件基础,同时在纳米生产工艺控制和质量管理领域也扮演重要角色.纳米技术就某种意义上讲就是实现原子或分子操作的超精细加工技术.纳米科技的各个领域都涉及对纳米尺度物质的形态、成分、结构及其物理/化学性能(功能)的测量、表征.纳米测量在纳米科技中起着信息采集和分析的不可替代的重要作用.纳米测量技术包括:纳米级精度的尺寸和位移的测量,纳米级表面形貌的测量以及纳米级物理与化学特性测量.目前迫切需要解决的问题有微电子、超精密加工中线宽、台阶、膜厚等测量问题、纳米材料中的粒子特征测量问题和作为纳米科技主要测量和操作工具的扫描探针显微镜(SPM)、扫描电子显微镜(SEM)等的特性表征和测量准确度评定.文章重点评述了国际上为建立可溯源于国际基本单位制(SI)的纳米计量体系努力.包括:纳米尺度测量(台阶、节距)的国际比对,传递标准在纳米计量体系中的特殊作用,用于校准扫描探针显徽镜(SPM)、扫描电子显微镜(SEM)等的传递标准研制概况.

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