首页 期刊 深圳大学学报·人文社会科学版 坩埚高径比对泡生大尺寸蓝宝石单晶的影响 【正文】

坩埚高径比对泡生大尺寸蓝宝石单晶的影响

作者:姜建伟; 刘凯歌; 彭小波; 李玲; 翟剑庞 深圳大学电子科学与技术学院; 深圳大学机电与控制工程学院; 深圳大学光电工程学院
晶体学   蓝宝石晶体   泡生法   温场模拟   发光二极管衬底材料  

摘要:研究了高径比分别为1.36和1.50的两组坩埚在炉体内的轴向、径向温度梯度和液流情况.在两组坩埚中进行晶体生长实验,将生长出来的晶体进行掏棒和切片,并对晶棒进行应力和气泡检测,对晶片进行位错和双晶摇摆曲线检测.对比理论计算和实验结果表明,当纵横温度变化近似一次函数,且纵横温度梯度作用下的固液面的夹角在45°~60°时,可以有效降低应力,减少开裂几率;当熔体内部只有一个涡旋的时候,可有效减少晶体气泡;坩埚高径比为1.36时,能有效降低位错密度,提高结晶性.

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