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Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics
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Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics

SCISCIE

真空科学与技术杂志B:纳米技术与微电子学杂志

中科院分区：4区 

《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》是一本由AVS Science and Technology Society出版商出版的工程技术国际刊物，国际简称为J VAC SCI TECHNOL B，中文名称真空科学与技术杂志B:纳米技术与微电子学。该刊创刊于1983年，出版周期为6 issues/year。 被收录于国际知名权威数据库SCI、SCIE。

ISSN：2166-2746
研究方向：Materials Science-Materials Chemistry
是否预警：否
E-ISSN：2166-2754
出版地区：UNITED STATES
Gold OA文章占比：0.00%
语言：English
是否OA：未开放
OA被引用占比：0.1270...
出版商：AVS Science and Technology Society
出版周期：6 issues/year
影响因子：1.511
创刊时间：1983
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Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics 杂志简介

《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》重点专注发布Materials Science-Materials Chemistry领域的新研究，旨在促进和传播该领域相关的新技术和新知识。鼓励该领域研究者详细地发表他们的高质量实验研究和理论结果。该杂志创刊至今，在Materials Science-Materials Chemistry领域，有较高影响力，对来稿文章质量要求较高，稿件投稿过审难度较大。欢迎广大同领域研究者投稿该杂志。

Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics 杂志中科院分区

中科院SCI分区数据
《新锐期刊分区表》（2026年3月发布）
大类学科 分区 小类学科 分区 Top期刊 综述期刊
工程技术 4区 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 4区 4区 4区 否 否
期刊分区表（2025年3月升级版）
大类学科 分区 小类学科 分区 Top期刊 综述期刊
工程技术 4区 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 4区 4区 4区 否 否
期刊分区表（2023年12月升级版）
大类学科 分区 小类学科 分区 Top期刊 综述期刊
工程技术 4区 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 4区 4区 4区 否 否
期刊分区表（2022年12月升级版）
大类学科 分区 小类学科 分区 Top期刊 综述期刊
工程技术 4区 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 4区 4区 4区 否 否
期刊分区表（2021年12月升级版）
大类学科 分区 小类学科 分区 Top期刊 综述期刊
工程技术 4区 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 4区 4区 4区 否 否
期刊分区表（2021年12月基础版）
大类学科 分区 小类学科 分区 Top期刊 综述期刊
工程技术 4区 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 4区 4区 4区 否 否
期刊分区表（2020年12月升级版）
大类学科 分区 小类学科 分区 Top期刊 综述期刊
工程技术 4区 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 4区 4区 4区 否 否
中科院分区趋势图

中科院JCR分区：中科院JCR期刊分区（又称分区表、分区数据）是中国科学院文献情报中心世界科学前沿分析中心的科学研究成果，是衡量学术期刊影响力的一个重要指标，一般而言，发表在1区和2区的SCI论文，通常被认为是该学科领域的比较重要的成果。

Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics CiteScore 评价数据（2026年6月最新版）

  • CiteScore：2.5
  • SJR：0.359
  • SNIP：0.689

CiteScore 排名

学科类别 分区 排名 百分位
大类：Physics and Astronomy 小类：Instrumentation Q2 99 / 206

52%
大类：Physics and Astronomy 小类：Electrical and Electronic Engineering Q3 545 / 1030

47%
大类：Physics and Astronomy 小类：Electronic, Optical and Magnetic Materials Q3 198 / 318

37%
大类：Physics and Astronomy 小类：Surfaces, Coatings and Films Q3 89 / 141

37%
大类：Physics and Astronomy 小类：Materials Chemistry Q3 212 / 327

35%
大类：Physics and Astronomy 小类：Process Chemistry and Technology Q3 56 / 84

33%
CiteScore趋势图

CiteScore：是由Elsevier2016年发布的一个评价学术期刊质量的指标，该指标是指期刊发表的单篇文章平均被引用次数。CiteScore和影响因子的作用是一样的，都是可以体现期刊质量的重要指标，给选刊的作者了解期刊水平提供帮助。

Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics 杂志发文统计

文章名称引用次数

  • Tutorial on interpreting x-ray photoelectron spectroscopy survey spectra: Questions and answers on spectra from the atomic layer deposition of Al2O3 on silicon9
  • High-density energy storage in Si-doped hafnium oxide thin films on area-enhanced substrates6
  • Reduced twinning and surface roughness of Bi2Se3 and Bi2Te3 layers grown by molecular beam epitaxy on sapphire substrates6
  • Electrical and optical characterization of CdTe solar cells with CdS and CdSe butters-A comparative study5
  • Enhanced green luminescence from ZnO nanorods5
  • Dual-band ultraviolet photodetectors comprising nanostructured MgZnO on ZnO films5
  • 3D-printed microfluidics on thin poly(methyl methacrylate) substrates for genetic applications5
  • Reactive sputter deposition of piezoelectric Sc0.12Al0.88N for contour mode resonators5
  • High-temperature molecular beam epitaxy of hexagonal boron nitride layers5
  • Comparative study of electron field emission from randomly-oriented and vertically-aligned carbon nanotubes synthesized on stainless steel substrates5

Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics 杂志社通讯方式

《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》杂志通讯方式为：J. Vac. Sci. Technol. B。详细征稿细则请查阅杂志社征稿要求。本站可提供SCI投稿辅导服务，SCI检索，确保稿件信息安全保密，合乎学术规范，详情请咨询客服。

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