摘要：针对等离子体的应用,基于级联型电压叠加技术研制了一种最高输出电压为20kV的高压微秒脉冲源,该电源由40个相同的电源模块组成,其单个模块电压等级为500V,降低了对器件的绝缘耐压要求。电源的输出电压值在0~20kV之间可调;重复频率在0~10kHz之间、脉宽在0~30μs之间可调;该电源的上升沿和下降沿均在1μs以内。模块化的设计提高了电源的冗余容错能力。将该电源作为产生等离子体的激励源时,其输出的高压脉冲波形稳定,且根据负载对输出高压波形的要求不同,该电源可以方便地进行调节。

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