杂志简介：《强激光与粒子束》杂志经新闻出版总署批准，自1989年创刊，国内刊号为51-1311/O4，是一本综合性较强的科学期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科学领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：激光大气传输技术专题、讯息、高功率微波技术、粒子束及加速器技术、脉冲功率技术、核科学与工程
杂志简介：《强激光与粒子束》杂志经新闻出版总署批准，自1989年创刊，国内刊号为51-1311/O4，是一本综合性较强的科学期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科学领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：激光大气传输技术专题、讯息、高功率微波技术、粒子束及加速器技术、脉冲功率技术、核科学与工程
作者：高杨 赵坤丽 赵俊武 刊期：2016年第06期
为了分析基于应力/应变效应的体声波（BAW）力传感器的敏感机理、准确计算其灵敏度,提出了一种用于BAW力传感器灵敏度分析的微分-综合分析法。该方法借鉴了微积分的原理,在Mason等效电路模型中将一个完整的BAW谐振器替换为多个谐振器微元的并联,从而将谐振器有源区面积A上应力/应变场的有限元计算结果与压电薄膜材料的力学特性、谐振器微元的电...
作者：王禹欣 周再发 华杰 王飞 徐焕文 黄庆安 刊期：2016年第06期
无论是在微机电系统（MEMS）还是集成电路（IC）领域,SU-8厚胶光刻已经成为制造高深宽比结构的主流工艺。为了取代昂贵而耗时的光刻实验,一套能够良好预测显影形貌,从而为优化光刻制造提供有效帮助的光刻仿真软件就成为必要而有价值的工具。基于严格电磁场波导法的理论,给出一种针对SU-8光刻胶在紫外光下的三维光刻仿真模型。利用该模型,能很好...
作者：韩建军 张国军 张文栋 郭静 刘源 刊期：2016年第06期
提出将MEMS矢量水听器应用于潜标系统,并进行了大量实验验证其可行性。MEMS矢量水听器是一种新型水下声学传感器,它具有体积小、成本低、一致性高和高灵敏度等优点。将水听器应用于潜标系统,可以大幅降低阵列孔径,进而有效地监测海洋声场的矢量信息。矢量水听器矢量通道的指向性与频率无关,在低频和甚低频同样可以获得良好的空间增益,应用在低频...
作者：田颖 陈李 陈丹华 王亚运 刊期：2016年第06期
为了去除不定积分环节产生的直流偏置项,提出了一种基于“一次移动平均法”的改进积分算法。利用一个整数周期的积分信号值构成一个集合,计算出集合的算术平均值作为瞬时直流偏置,将原积分信号减去该直流偏置,最终可得到无直流偏置项的积分信号。为实时更新直流偏置,在每个时钟上升沿将一个积分信号的新采样值加入集合尾部,并去除集合首部的数值...
作者：周织建 聂伟荣 席占稳 王晓锋 罗乔 刊期：2016年第06期
在保证引信勤务安全性和正常发射可靠性前提下,为实现引信小型化而设计了一种新型无源双阈值高g值MEMS惯性开关,其主要包括能够识别两种典型加速度环境（载荷1∶15000g-300μs,载荷2∶3000g-3ms）的环境识别模块M1和为后续电路可靠供电的通电模块M2。环境识别模块M1主要通过控制带有Z型齿的质量块与对应L型挡块之间的碰撞来确定质量块的运动位移,...
作者：马文英 魏耀华 汪为民 王强 刊期：2016年第06期
微光机电系统（MOEMS）微镜在激光显示、光束扫描、自适应光学等领域都有重要应用。现有的MOEMS微镜驱动器一般为静电吸引型,难以克服其吸合效应造成的各种问题,同时,方形的驱动器难以与圆形的镜面形成良好匹配,填充比较低。提出了一种环形静电排斥驱动器的MOEMS微镜,该静电排斥驱动器以环形排列,并围绕在镜面的周围,达到了与圆形镜面的良好匹配...
作者：黄乃宝 李婉 梁成浩 徐丽双 王晓晔 孙天航 孙敏 刊期：2016年第06期
为评价直接甲醇燃料电池（DMFC）阳极的稳定性,利用扫描电化学显微镜和常规电化学技术,研究了变压加载过程中DMFC阳极性能的变化。结果表明,在探针扫描过程中,经不同电压加载后的DMFC阳极表面的扫描电流呈相似的锯齿状分布。当阳极加载2h,随加载电位升高,扫描峰电流的数量减少,对应峰电流的数值则先增大再减小,表明阳极的催化活性处于不均匀分布...
作者：高杨 李君儒 刊期：2016年第06期
随着信号输入功率的升高,电容式RF MEMS开关会发生自热效应使膜片变形,引起开关气隙高度的改变,导致开关驱动电压漂移,严重影响其可靠性。由于自热效应的失效机理涉及到复杂的多物理场耦合,因此提出了“电磁-热-应力”的多物理场协同仿真方法描述其失效模式,并分析其失效机理。首先利用HF-SS软件建立开关的电磁仿真模型,得到不同输入功率下膜片...
作者：付文婷 梁峭 崔可夫 石天立 张娜 郑东明 唐慧 孙海玮 刊期：2016年第06期
利用响应面分析方法优化了用于压力传感器硅敏感芯体的刻蚀操作条件。主要考虑了温度、KOH浓度和腐蚀时间三个操作参数,将它们的范围分别设定为40~60℃,0.4~0.48mol/L和5~12.5h,并设定各向异性腐蚀速率为响应值。通过建立二次方模型,分析这些参数的单独影响以及多个操作条件之间对腐蚀速率的相互交叠作用。分析结果表明：模型可以精确预测99%的...
作者：刘皓挺 马玉洲 王巍 闫贝贝 单联洁 于文鹏 刊期：2016年第06期
提出一种用于干涉型光纤陀螺仪（IFOG）装配质量控制的内窥镜系统设计及相关图像分析方法。同时采用1.0mm与2.4mm工业内窥镜系统采集IFOG内部图像与视频数据;并利用多自由度运动控制平台调节内窥镜工作姿态以保证图像的顺利采集。在此基础上,设计了基于db4小波基的图像增强方法,基于灰度共生矩阵的图像纹理特征估计方法以及图像几何形状特征的计...
作者：杜立群 杨彤 赵明 陶友胜 罗磊 王磊 刘冲 刊期：2016年第06期
利用微电铸技术制作的微流控芯片模具往往存在沉积厚度不均匀的缺陷,这种缺陷会影响模具的尺寸精度及使用性能,并增加模具的制作成本。为了制得厚度均匀的微流控芯片模具,研究了超声电铸对模具均匀性的影响。首先,采用有限元软件COMSOL Multiphysics建立微流控芯片模具的微电铸模型,分析电铸2h后的模具的厚度分布。并根据该仿真结果,设计掩模版...
作者：李以贵 颜平 黄远 杉山进 刊期：2016年第06期
采用微硅-锆钛酸铅（Si-PZT）悬臂梁结构并在悬臂梁末端附加镍质量块,构成可以工作于低频环境（小于1000Hz）的微压电能量采集器,一种利用压电效应将环境振动能转换为电能的器件。利用金薄膜作为中间层的共晶键合技术和PZT研磨减薄技术制备了微压电悬臂梁结构,PZT减薄实验最好结果为减薄至8μm。镍质量块（2mm×2mm×0.6mm）采用微电铸工艺制备。通...
作者：戴昌盛 荣伟彬 孙立宁 刊期：2016年第06期
空心微球具有广泛的应用,耐压性能是其重要特性之一。但人工测量劳动强度大且精度较差。提出一种基于图像检测的自动测量方法,可检测微球加压过程中的破损情况并记录压力值。首先,利用梯度霍夫变换定位微球,再通过Canny边缘检测提取微球轮廓信息,并减少环境因素对检测的影响。最后Hu不变矩被用来将加压中的微球图像与加压前图像进行匹配,当微球...
作者：杜利东 周晓宇 卫克晶 赵湛 方震 孙学金 刊期：2016年第06期
通常气压传感器的标定补偿方法复杂耗时,开发了一种新的方法去简化气压传感器的标定补偿。首先,设计恒温结构,并通过PID算法自动调节,使气压传感器的核心敏感元件工作于某一个固定温度（此温度稍高于气压传感器需要工作的最高温度点）;其次,把气压传感器在与这个固定温度点相等的环境温度下进行标定;最后,完成标定后不管环境温度如何变化,气压传...
作者：慕艾霖 赵晓锋 李宝增 温殿忠 吴亚林 刊期：2016年第06期
基于纳米多晶硅薄膜电阻的多功能传感器由压力传感器和加速度传感器构成。纳米多晶硅薄膜电阻构成的两个惠斯通电桥结构分别设计在方形硅膜表面和悬臂梁根部。采用MEMS技术和CMOS工艺在〈100〉晶向单晶硅片上实现压力/加速度传感器芯片制作,利用内引线技术将芯片封装在一个印刷电路板（PCB）上。在室温下,工作电压为5.0V时,实验结果给出压力传感...
影响因子：1.81
期刊级别：北大期刊
发行周期：半月刊
影响因子：0.91
期刊级别：CSCD期刊
发行周期：月刊
影响因子：1.08
期刊级别：SCI期刊
发行周期：月刊
影响因子：0.94
期刊级别：北大期刊
发行周期：双月刊
影响因子：1.46
期刊级别：北大期刊
发行周期：双月刊
影响因子：0.48
期刊级别：北大期刊
发行周期：双月刊
影响因子：0.67
期刊级别：北大期刊
发行周期：季刊
影响因子：1.09
期刊级别：北大期刊
发行周期：双月刊
影响因子：0.62
期刊级别：北大期刊
发行周期：季刊
影响因子：0.58
期刊级别：部级期刊
发行周期：月刊