摘要：以铝为模板,通过二次阳极氧化法制备多孔阳极氧化铝（AAO）膜,利用原子力显微镜观察AAO膜的微观形貌,分析退火处理、电化学抛光处理、阳极氧化电压、阳极氧化时间等因素对AAO膜结构的影响,结果表明：AAO膜的物相为非晶态,但经高温退火处理所得AAO膜会被部分晶相化;电化学抛光能有效改善孔洞分布的均匀性.当氧化电压在40~55 V范围内,AAO膜的孔径随着阳极氧化电压的升高而增大,膜孔洞结构排布的有序性也得到增强;膜孔孔径大小分布在40~100 nm之间;阳极氧化时间对膜的孔径没有显著影响;当电解液温度在0~20℃范围内,AAO膜的孔径随着电解液温度的升高而减小,且AAO膜的有序性也随之增强.

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