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半导体集成电路器件生产废水处理工艺研究与应用

作者：刘新超; 高连敬; 孙勇同济大学环境科学与工程学院; 上海; 200092; 同济大学建筑设计研究院; 上海; 200092; 上海市政工程设计研究院; 上海; 200092

半导体集成电路电镀废水酸碱废水 ph控制

摘要：针对半导体集成电路器件生产产生的电镀废水、酸碱废水,对流量控制、 pH、药剂投加量、反应搅拌强度进行研究,并提出合理的处理工艺,确保废水处理达标排放.

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