摘要：随着液晶显示技术的迅速发展，薄膜晶体管有源矩阵液晶显示器(TFT-LCD)已经成为信息显示领域的主导技术，其占据高端平板显示器的份额正在迅速增加，但是液晶面板的制造还存在工艺工程复杂性、良品率不太高等缺点。研磨工艺的好坏直接决定了良率的优劣，本文主要讨论常见的研磨不良、影响研磨的常见因素以及研磨参数对研磨效果的研究。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社