首页 期刊 量子电子学报 脉冲激光淀积MgF2薄膜的制备及性质研究 【正文】

脉冲激光淀积MgF2薄膜的制备及性质研究

作者:于琳; 韩新海; 王冠中; 揭建胜; 廖源; 余庆选; 方容川 中国科学技术大学结构分析开放研究实验室,安徽合肥230026; 中国科学技术大学物理系,安徽合肥230026
脉冲激光淀积   mgf2薄膜   折射率   透过率   薄膜光学  

摘要:本文采用脉冲激光淀积方法(PLD)制备了MgF2光学薄膜,并对其表面形貌以及光学性质进行了测试分析,X射线光电子能谱分析显示MgF2样品具有很好的化学组分配比,F/Mg原子比在1.9~2.1之间,接近于体材料;在可见光波段其光学透过率为60%~80%,在红外波段更是达到了90%以上,由KK变换计算MgF2的折射率大约为1.39,也接近于体材料的折射率1.38。

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