作者:魏广芬; 唐祯安; 陈正豪; 余隽; 王立鼎 期刊:《中国机械工程》 2005年第14期
测试了一组微热板式气体传感器的稳定性,着重讨论了稳定性的几种描述方法,采用统计学方法对文献中常用于描述稳定性的几种特征参数进行了比较和取舍,引入了特征参数离散度来描述气体传感器的稳定性,并使用该方法比较了预加热时间对传感器稳定性的影响.
作者:官修龙; 刘丽; 刘震; 何越; 王连元 期刊:《电子元件与材料》 2017年第06期
设计了一种新型ZnO微气体传感器的结构,利用有限元分析软件ANSYS对该传感器的结构进行了分析,并对传感器的基底三层材料的厚度、加热电极的宽度和间距以及测量电极的宽度参数进行了优化,结果得出:当传感器基底中前SiO2层、中间Si层、后SiO2层的厚度分别为10,140和150μm,加热电极和测量电极宽度均为30μm,加热电极的间距为100μm,此时传感器的ZnO材料工作区域可获得最佳的温度分布和磁场分布,有利于传感器整体性能的提高。
作者:马晓康 丛慧 穆仁 范会涛 杨卉 祈明锋 张小水 张彤 期刊:《传感技术学报》 2011年第12期
基于"相同温度下同一物体所产生的辐射功率相同"这一原理,搭建了一套非接触式微小芯片表面工作温度的测试平台。利用该平台对汉威电子出品的一种平面陶瓷基微气体传感器衬底的表面工作温度进行了测试,明确了其表面温度与加热电流之间的关系及芯片表面工作温度分布图。在此基础上,确定了In2O3纳米纤维的最佳工作温度,研究了最佳工作温度下In2O3纳米纤维酒精传感器的气敏特性,验证了测温方法的有效性。该方法可进一步推广应用到其...
作者:张子立 殷晨波 朱斌 陶春旻 期刊:《南京工业大学学报·自然科学版》 2012年第03期
针对传统堆积式硅基微气体传感器制造工艺复杂的缺点,设计一种将Pt电极制成一层的共面式微气体传感器,利用有限元软件ANSYS对传感器的热性能进行了分析。结果表明:共面式微传感器的气敏薄膜表面工作区域的温度差在功耗为15 mW时约为7℃,且当功耗为13 mW时传感器温度便可达300℃。根据MEMS工艺设计了一套制造该结构传感器的工艺。该工艺可以与溶胶-凝胶法制膜工艺相兼容,且整个工艺只用到3块掩膜版,从而降低了工艺复杂程度,提高了...