作者:高升谦; 傅刚; 刘志宇; 王笑天 期刊:《科技创新导报》 2015年第15期
利用硅基MEMS工艺,通过背面分步刻蚀工艺湿法刻蚀〈100〉晶向硅片,结合SiO2薄膜热氧化工艺、磁控溅射薄膜制备工艺、光刻工艺、lift-off工艺,制备了一种自带均热板的微弹簧式悬臂梁微加热器。L型悬臂梁结构比直线型结构应力分布均匀。标定了微加热器的R-T曲线、I-V曲线。微加热器在工作电压为2.3V时,加热电阻值为60.96Ω,功耗为86.72mV,可获得673K的工作温度。
作者:席文柱; 闫卫平; 马灵芝; 牛德芳 期刊:《传感技术学报》 2004年第03期
采用微电子技术和微机械加工技术,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器.在恒功率的工作模式下,分析了微流量传感器的特性曲线.实验结果表明,硅基热流式微流量传感器的测量范围在10~800 μL/min之间.
作者:官修龙; 刘丽; 何越; 王连元 期刊:《仪表技术与传感器》 2017年第09期
利用金属铂良好的热敏、热阻特性,以及Si O2良好的绝热、绝缘性能,设计了以铂为加热电极、以Si O2为绝缘材料的新型共平面微结构气体传感器。为了使该传感器获得高且均匀的温度分布,利用有限元软件ANSYS对该传感器的电极和基底进行仿真分析,并进一步优化该传感器的基底以及电极参数。仿真结果表明:传感器基底形状设计为方形结构,基底的前Si O2层、中间Si层、后Si O2层的厚度依次为1、199、100μm,且加热电极的宽度及间距均为20μm、...
作者:刘本东; 孙建闯; 侯岳鹏; 苏彦强; 李德胜 期刊:《北京工业大学学报》 2016年第08期
热气泡式微流体驱动器是微驱动的一个研究分支,是微流控器件的重要组成部分. 热气泡式微流体驱动器没有机械可动部件和机械变形,结构简单、容易加工制造、可靠性高,在航空航天、生物医学和化学等领域具有广阔的应用前景. 目前,热气泡式微流体驱动器主要采用4 种加热方式:电阻加热、电磁感应加热、激光加热和电火花加热. 对以上4 种热气泡式微驱动器的研究进展进行了总结,分析了不同加热驱动方式的工作原理、结构组成、微加工制作方...
作者:常文博 李德胜 刘本东 期刊:《传感器与微系统》 2011年第12期
提出了一种用于热微喷头的感应加热器新结构。进行了相关的结构和工艺设计,在MEMS工艺环境下制作出了可以非接触加热,工艺结构简单,使用寿命长的微感应加热器。使用ANSYS对微感应加热器进行了建模和仿真分析,结果显示:感应加热器的最大加热功率可达到5mw以上,满足设计要求,同时得到了感应加热器的功率影响因素。
作者:荣皓 赵钢 褚家如 期刊:《光学精密工程》 2011年第01期
针对热机械式微纳米结构的加工,提出了一种以掺Al多晶硅为材料,集成于微悬臂梁上的加热器。采用Al诱导退火晶化(AIC)方法,在750 K对Al/a-Si∶H复合薄膜低温晶化18 h,制备出掺Al多晶硅。通过低温退火,使复合薄膜的拉曼特征峰由478 cm-1移至520 cm-1,完成由非晶硅向多晶硅的转变;由四探针仪测得室温下样品的电阻率由退火前的1010Ω.cm降至16.8×10-3Ω.cm,实现了多晶硅的Al掺杂;在扫描电镜下观测到退火后Al与a-Si∶H层的界限消失并形...
作者:陈钢 全晓军 郑平 期刊:《上海交通大学学报》 2010年第01期
利用微机电系统(MEMS)加工技术,在梯形微通道内集成特定形状(60μm×100μm)的Pt微加热器,通过改变脉冲加热电压及水的流速,采用高速摄像机观察并记录微加热器表面的流动沸腾现象,根据脉冲宽度2ms下不同流速及热流时微加热器表面的核态沸腾及膜态沸腾现象得到了沸腾流型图.结果表明:在一定流速条件下,随着微加热器的热流增加,核态沸腾及膜态沸腾相继出现在微加热器表面,且核态沸腾开始向膜态沸腾转变;同时,增加水的流...
作者:李倩 唐琼辉 张伟 徐进良 期刊:《清华大学学报·自然科学版》 2009年第02期
为深入研究微电子原件表面沸腾换热中存在的问题,对脉冲加热条件下影响气泡动力学的因素进行了研究。以不同主流流速下微加热器表面产生的气泡为对象,进行实验。以100μm×20μm的长方形铂膜为加热表面,发现了3种典型的气泡型态:1)单气泡;2)大气泡中分裂出小气泡;3)加热膜上先后产生大小气泡。此外对气泡脱离加热膜后的合并现象以及影响气泡脱离直径的因素进行了研究,发现加热功率和脉冲频率是影响气泡动力学的主要因素。
作者:徐立 赖喜锐 王斌 徐进良 期刊:《化工学报》 2011年第03期
以Al2O3-H2O纳米流体中的微加热器为研究对象,通过实验方法对脉冲加热条件下微加热器的温度响应曲线和气泡动力学行为进行了详细的研究。比较了在纯水及浓度为0.1%和0.2%的Al2O3-H2O纳米流体中微加热器的温度变化和气泡动力学行为。发现在脉冲加热条件下,微加热器在不同浓度的纳米流体中将出现不同的温度响应曲线,加热膜表面的气泡动力学行为也不相同。实验表明,在脉冲加热条件下,微加热器在Al2O3-H2O纳米流体中的换热效果要明显高...
作者:丁恩杰 马洪宇 期刊:《工矿自动化》 2016年第03期
针对矿山物联网发展对甲烷传感器低功耗、微型化、低成本的设计要求,对一种基于微纳米技术的载体催化燃烧式甲烷传感器展开研究,着重介绍了该种甲烷传感器的微加热器及低维甲烷传感方面的研究现状及相应成果,并介绍了一种新型金属-绝缘体-金属结构的金属氧化物半导体甲烷传感器。该种甲烷传感器具有功耗低、体积小等特点,符合矿山物联网的发展需求。