作者:谢高杨; 唐刚; 黄博; 徐斌; 袁丹丹 期刊:《机械设计与研究》 2019年第06期
为克服传统压电能量采集器工作频带窄、输出性能低等问题,提出了一种两自由度碰撞式压电能量采集器结构,建立了其理论分析模型,并利用键合与减薄技术制备了以磷青铜为基底的高性能压电厚膜,在此基础上通过MEMS工艺完成器件样机的制造。性能测试表明:在不进入碰撞机制时,最高测试加速度为5g,两自由度器件一阶、二阶谐振频率分别为26.4Hz和55.2Hz,主梁和副梁在一阶谐振、二阶谐振频率点的输出电压分别达到20.3 V/17.0 VJ8.2 V/16.5 V...
微机电系统是一个独立的智能系统,以微电子技术为基础,融合了光刻、腐蚀、硅微加工等技术。目前,在微电系统设计中还存在多学科交叉问题以及设计周期较长的问题,影响了微机电系统的设计效率。笔者阐述了微机电系统的研究背景,并介绍了微机电系统的相关内容,总结了微机电系统设计过程中的关键技术。
作者:吴之晨; 陈贇; 施嶂 期刊:《信息周刊》 2019年第31期
微机电系统随着不断的发展与应用,给科技以及人们的生活带来了极大改变。特别是当前时期电子与制造业经过多年创新发展,使得微机电普遍应用在众多领域中,而其所具有的低成本以及高性能等优势也受到了人们的关注,从而使其被应用在电子通讯领域之中。
寻求合作KD204:面向物联网的开放式无线自组网感控系统基于MEMS(微机电系统)、SOC(片上系统)、WNS(无线传感器网络)、AGENT(智能体)、Embeded System(嵌入式系统)以及自动控制技术,通过WIFI、BLUETOOTH、ZIGBEE、GPRS等丰富灵活的无线信息交互途径,
作者:何君勇; 李路海 期刊:《数字印刷》 2009年第06期
通过文献调研并结合实践,本文系统介绍了按需喷墨打印技术发展情况,较详细阐述了压电式和热发泡式激发器的技术原理、技术特点、结构、分类和技术更新情况,以及墨水、介质的相应发展情况。新型喷墨头技术朝着喷嘴更小、排列更紧密、喷出墨滴更小且能实现可变墨滴的趋势发展;借助微机电和半导体技术的发展,制造工艺更加集成化。在新型墨水和介质的配合下,喷墨打印在照片冲印输出、商务办公和短版印刷领域获得成功应用。
作者:付雷; 章政; 余义 期刊:《高技术通讯》 2019年第10期
针对低成本微机电系统(MEMS)惯性测量器件易发散,单一的姿态估计算法存在精度低、抗干扰性弱等问题,提出了一种动态权值共轭梯度法与自适应互补滤波融合的姿态估计算法。该算法在共轭梯度算法中加入动态权值,根据载体运动加速度大小对权值进行动态调整,消除运动加速度对姿态估计的不利影响;将加速度计的输出采用动态权值共轭梯度法估计出姿态四元数,并将其与陀螺仪的输出通过自适应互补滤波算法融合以减小惯性测量单元(IMU)的漂移...
作者:邢博文; 丁徐锴; 李宏生 期刊:《传感器与微系统》 2019年第11期
针对微机电系统(MEMS)振动陀螺仪驱动模态自动增益控制(AGC)回路非线性、控制器设计难的问题,提出了在平衡点处将系统进行线性化并利用经典频域分析进行控制器设计的方法。利用包络传递函数建立了一种无需乘法器的AGC模型。通过谐波分析的方法将简化的AGC环路模型在平衡点处进一步线性化。利用线性系统经典的频域分析法进行控制器的设计。仿真与实验验证了模型线性化过程的正确性以及所提出的控制器设计方法的有效性。
作者:刘伟; 魏婷婷; 杨清山 期刊:《传感器与微系统》 2019年第12期
微机电系统(MEMS)加速度计的标定方法主要是利用高精度转台在重力场下进行翻转实验,通过采集存储不同位置下的加速度计输出,利用事后处理的方法得到待标定加速度计的标度因数和零位电压。然而事后处理的方法效率较低,数据处理较繁琐。为了优化标定系统并提高标定效率,提出并设计一种MEMS加速度计在线快速标定系统,通过微控制器实时采集不同位置加速度计数据、处理后并传输至Lab VIEW设计的上位机,最后,实时快速拟合出标定曲线和标...
作者:刘林仙; 王朝阳; 马奎 期刊:《测试技术学报》 2019年第06期
针对当前单只矢量水听器定向精度低,只能实现1/4象限内定向的问题,本文提出了一种压电式MEMS矢量水听器,期望利用压电效应和该结构提高水听器灵敏度,同时拓宽频带,实现360°范围内声源的准确定向.该水听器微结构包括由梁和4个相互垂直锚结构组成的力学传动单元和由压电薄膜构成的力电敏感转换单元两部分,通过梁结构直接接收声波信息,利用压电薄膜材料两端产生的电荷密度和电荷极性实现声音信号大小和声源方向的检测.建立了该水听器...
作者:马力; 李天松; 阳荣凯; 黄艳虎 期刊:《桂林电子科技大学学报》 2019年第05期
针对中小型飞行器使用微机电系统(MEMS)器件无初始对准过程导致姿态估计精度低的问题,提出一种基于增强型显式互补滤波的无人机姿态算法。利用加速度计算出俯仰角与横滚角,通过磁强计算出航向角,并使用陀螺仪进行信息融合,算出导航前一时刻的姿态角及四元数。在显式互补滤波基础上,构造了利用地磁场强度信息及比例积分误差控制来修正航向角的增强型显式互补滤波(EECF)算法。仿真结果表明,采用EECF算法可有效解算航向角,并且加入初...
作者:杨清清; 李云; 叶志红; 蒋欣; 唐小龙; 杜波; 马晋毅 期刊:《压电与声光》 2019年第05期
针对5G无线通信毫米波频段的发展需求,设计了一款应用于K波段的交指型微机械滤波器。该滤波器采用抽头式输入、输出,通过上介质层的金属通孔将输入、输出信号引至最上层金属层,结合上、下介质层的空腔设计,有效地减小了滤波器的体积。双层封闭式结构,有效屏蔽了外部电磁环境对其内部结构的干扰。使用HFSS等软件对滤波器结构进行仿真与优化,最终达到指标要求:中心频率为25.875 GHz,带内插损小于2.5 dB,相对带宽为12.56%。滤波器的最...
作者:张韬杰; 江毅; 马维一 期刊:《激光与光电子学进展》 2019年第17期
提出并通过实验研究了一种高精细度微机电系统(MEMS)光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器。该传感器基于MEMS技术,将硅片与Pyrex#7740玻璃片阳极键合并镀上高反介质膜构成一个高精细度的F-P腔。当外界压力发生变化时,F-P腔长会发生变化;采用高灵敏度光纤白光干涉测量技术,通过测量F-P腔长就可获得被测压力。实验结果表明,该传感器压力测量分辨率高,线性度高,并具有低温漂特性。
作者: 期刊:《河北省人民政府公报》 2018年第05期
冀政办字[2018]67号2018年5月13日各市(含定州、辛集市)人民政府,雄安新区管委会,省政府各部门:集成电路产业是支撑国民经济和社会发展的战略性、基础性和先导性产业。为贯彻落实国家集成电路产业发展战略部署和《河北省人民政府关于印发河北省战略性新兴产业发展三年行动计划的通知》(冀政发[2018]3号)精神,抢抓机遇,培育壮大我省集成电路产业,经省政府同意,提出如下实施意见。
Aerotech推出的A3200-OEM自动化平台是基于PC软件的多轴运动和自动化控制系统,适合应用于如特殊的自动化系统集成和以多轴微定位为基础的研究,也可应用于半导体、电子、激光焊接技术、微机械系统、微机电系统、传感器、医疗、生物技术和纳米技术解决方案以及自动化包装系统等领域的生产机械和测试设备。
作者:王阳元; 黄如; 刘晓彦; 张兴 期刊:《物理》 2004年第06期
微电子产业是国民经济与国防建设的战略性基础产业.对此,我国经历了发展时期的奋斗,现正处于微电子产业迅速崛起的前夕,预计经过10-15年左右时间的努力,将把我国建设成为微电子产业和科学技术的强国.文章着重介绍了21世纪微电子产业的发展需求,面向这个需求,讨论了21世纪微电子科学技术的主要发展方向.认为:一方面,特征尺寸将继续等比例缩小(scaling down),包括新结构、新工艺、新材料的器件设计与制备技术以及光刻技术、互连技术...
作者: 期刊:《信息技术与网络安全》 2010年第22期
欧胜微电子有限公司日前正式其下一代数字硅微机电系统(MEMS)麦克风,两款产品的编号分别为WM7210和WM7220。
近年来,微机电系统在技术进步和应用数量上有了长足的发展。介绍了微机电系统的特点,分析了微机电系统的发展趋势,对微机电系统面临的挑战进行了探讨。
作者:王方成; 赵知辛; 刘二乐 期刊:《陕西理工大学学报·自然科学版》 2013年第06期
弹簧作为控制机件运动、缓和冲击或震动、贮蓄能量的基本机械零件,它的作用在微机电系统(MEMS)中不可替代。设计一种应用于MEMS的圆锥形微弹簧,通过有限元方法对圆锥微弹簧非线性接触状态下,所表现的弹性特性进行了计算,得到微弹簧弹性特性曲线,并对微弹簧的非线性特性进行了分析,结果表明圆锥弹簧的刚度具有明显的非线性。有限元计算结果与理论公式计算结果基本一致,说明了采用有限元方法的可靠性。这种方法的采用对于微...