摘要:针对铜及铜合金板带材经加工和分切后会不同程度地产生残余应力,引起加工制品的形状及尺寸变化,而测量板带材残余应力的方法如X-ray法和钻孔法等,因有各自的局限性而难以在普通企业实现,介绍了SEMI和JBMA推荐的分条变形测量方法,并对刻蚀程序、测量过程以及存在的有关问题进行了研究,给出一组实测数据.
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