摘要：三氯氢硅是多晶硅生产的一种基础原料,有效的控制精制三氯氢硅的质量,是提高多晶硅产品质量的关键。而影响精制三氯氢硅质量的因素又是方方面面的,因此深挖影响精制三氯氢硅质量的因素,规范生产操作及加强过程的管控,并在技术上不断创新、突破,是保证精制三氯氢硅质量,进一步保证多晶硅质量的必经之路。本文结合改良西门子法生产多晶硅的实际工艺情况,介绍了三氯氢硅提纯的各种工艺方法,重点对三氯氢硅精馏提纯法作了详细介绍,并阐述了精馏提纯三氯氢硅过程中应注意的问题。

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