摘要：数值计算证明, 3ω方法结合有限元方法与反问题方法,能够同时确定基底材料与薄膜的相关热物性.基底上薄膜的热导率可以获得很高的测量精度,而且几乎不受测量截止频率的影响;热扩散率的测量精度则相对较低,但随着测量截止频率增加,其测量精度会得到改善.使用上述方法得到了硅基底上二氧化硅薄膜的热导率.得到硅基底的热导率为142.1 W/(m K),相对误差约为2%,二氧化硅薄膜的热导率为1.01 W/(m K),相对误差约为2%,与公认的测量值相符.

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