摘要：针对热真空环境下的拉力检测,研制了一种基于薄膜溅射工艺的双冗余拉力传感器。主要对溅射薄膜拉力传感器的弹性体结构和应变电阻布局进行了分析设计。针对传感器的零点输出误差设计了零点补偿电路;并对传感器的稳定性处理工艺进行了研究。最终,通过对传感器进行热真空试验,验证了该设计的合理性。实验结果表明,该拉力传感器可在-45℃~＋90℃范围内正常工作,灵敏度为13.02 m V/k N,精度高于6‰。

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