摘要:通过对电气贯穿件常规气密性检测方法进行分析,提出了电气贯穿件常规气密性检测方法的不足;通过电气贯穿件氦质谱吸枪法检漏试验,证明了氦质谱吸枪法检漏在电气贯穿件气密性检测中的适用性和有效性。
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