首页 期刊 科技广场 单频激光干涉仪采样系统设计 【正文】

单频激光干涉仪采样系统设计

作者:胡高山 林淞 沈阳建筑大学信息与控制工程学院 辽宁沈阳110168
激光干涉仪   数据采集系统   改进型edlen公式   亚纳米级  

摘要:为了解决在纳米级,甚至亚纳米级高精度位移测量时,激光干涉仪测量数据读数精度不高的问题,本文将改进型的Edlen公式引进到激光干涉仪软件程序中,提高激光干涉仪的读数准度,并且扩大其工作范围。改进型Edlen公式的使用和对程序的改写,使激光干涉仪软件所显示的数据精度更高,更准确,有效地减小了环境因素对激光干涉仪读数的影响偏差。

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