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基于数字光刻技术的光纤端面微光学器件制作

作者:余秋香 易云 江西应用技术职业学院 江西赣州341000 赣南师范学院 江西赣州341000
光纤端面   微光学器件   双光源dmd数字光刻系统   数字光刻技术  

摘要:本文提出采用DMD数字光刻技术制作光纤端面微光学器件,基于DMD数字光刻系统,建立了用于制作光纤端面微光学器件的双光源DMD数字光刻系统。利用双光源DMD数字光刻系统,在芯径为62.5μm,外径为125μm的多模光纤端面上制作了具有耦合作用的环形光栅。本技术中光纤端面微光学器件的掩模由计算机控制输出,具有设计灵活、实时控制的优点。

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