摘要：扫描探针显微镜在现代医疗、物理、化学等领域应用广泛,其微纳结构深度测量也因此得到普遍关注。文章尝试分析扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法,首先以机械探针、光学探针建立模拟实验,再结合结果分析影响测量精度的因素,最后据此分析校准方法,给出运用自动化技术、容错技术等内容。

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